迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析 | |
冯明春1; 刘文清1; 徐亮1; 高闽光1; 魏秀丽1; 童晶晶1; 李相贤1; 陈军1 | |
刊名 | 光学学报
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2015 | |
卷号 | 35 |
关键词 | 成像系统 迈克耳孙干涉仪 镜子 面形误差 调制度 |
ISSN号 | 0253-2239 |
其他题名 | Analysis of the Mirror Surface Errors in a Michelson Interferometer |
英文摘要 | 从迈克耳孙干涉仪干涉原理出发,分析了圆形镜面抛光面形误差对干涉调制度的影响。由于存在镜面面形误差,干涉调制度不能达到理想情况下的100%,但其干涉调制度不能低于理想情况下的90%。通过分析和讨论,镜面面形误差最好控制在A/14以内,干涉调制度才可能不低于90%,这样干涉仪才能保持比较满意的性能。同时,使用Zygo干涉仪对5组平面镜的平面度进行了测量,得到了这5组平面镜的峰-峰值和其他一些参数,通过分析测量结果,这5组平面镜的平面度都能达到干涉调制度的要求。通过对迈克耳孙干涉仪中平面镜面形误差的研究,这对于干涉光谱仪的设计、研制和性能的分析都具有一定的指导意义。 |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:5410394 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/49554] ![]() |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 5.中国科学院安徽光学精密机械研究所 6.中国科学院安徽光学精密机械研究所 7.中国科学院安徽光学精密机械研究所 8.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯明春,刘文清,徐亮,等. 迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析[J]. 光学学报,2015,35. |
APA | 冯明春.,刘文清.,徐亮.,高闽光.,魏秀丽.,...&陈军.(2015).迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析.光学学报,35. |
MLA | 冯明春,et al."迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析".光学学报 35(2015). |
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