迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析

	迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析
	冯明春 1; 刘文清 1; 徐亮 1; 高闽光 1; 魏秀丽 1; 童晶晶 1; 李相贤 1; 陈军 1
刊名	光学学报
	2015
卷号	35
关键词	成像系统迈克耳孙干涉仪镜子面形误差调制度
ISSN号	0253-2239
其他题名	Analysis of the Mirror Surface Errors in a Michelson Interferometer
英文摘要	从迈克耳孙干涉仪干涉原理出发,分析了圆形镜面抛光面形误差对干涉调制度的影响。由于存在镜面面形误差,干涉调制度不能达到理想情况下的100%,但其干涉调制度不能低于理想情况下的90%。通过分析和讨论,镜面面形误差最好控制在A/14以内,干涉调制度才可能不低于90%,这样干涉仪才能保持比较满意的性能。同时,使用Zygo干涉仪对5组平面镜的平面度进行了测量,得到了这5组平面镜的峰-峰值和其他一些参数,通过分析测量结果,这5组平面镜的平面度都能达到干涉调制度的要求。通过对迈克耳孙干涉仪中平面镜面形误差的研究,这对于干涉光谱仪的设计、研制和性能的分析都具有一定的指导意义。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:5410394
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/49554]
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 5.中国科学院安徽光学精密机械研究所 6.中国科学院安徽光学精密机械研究所 7.中国科学院安徽光学精密机械研究所 8.中国科学院安徽光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	冯明春,刘文清,徐亮,等. 迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析[J]. 光学学报,2015,35.
APA	冯明春.,刘文清.,徐亮.,高闽光.,魏秀丽.,...&陈军.(2015).迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析.光学学报,35.
MLA	冯明春,et al."迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析".光学学报 35(2015).