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一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器
贺建武; 康琦; 段俐; 胡良; 马隆飞; 薛森文
2019-03-05
著作权人中国科学院力学研究所
专利号ZL201611160348.2
国家中国
英文摘要本发明提供了一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器,包括:电离室、射频天线、进气系统、屏蔽罩、离子光学系统、电缆夹头;所述电离室为半椭球形,电离室入口连接进气系统,出口连接所述离子光学系统;所述屏蔽罩位于电离室外面;射频天线通上射频电流,用于在所述电离室内产生涡流电场,所述电缆夹头固定在所述屏蔽罩上。本发明具有下列技术效果:1、电离室设计成半椭球形,有效降低离子生成能;2、射频天线绕制在半椭球形电离室外侧,采用LC谐振及调频技术实现阻抗匹配;3、设计前置气体分配器,相较于后置气体分配器,可有效提高气体电离效率及等离子体均匀度。
申请日期2016-12-15
语种中文
内容类型专利
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/80890]  
专题力学研究所_国家微重力实验室
作者单位中国科学院力学研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
贺建武,康琦,段俐,等. 一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器. ZL201611160348.2. 2019-03-05.
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