题名 | Ni-Cr系光谱选择性吸收薄膜制备与表征 |
作者 | 汪保卫 |
学位类别 | 硕士 |
答辩日期 | 2002 |
导师 | 沈辉 |
关键词 | 选择性吸收薄膜 磁控溅射 吸收率 发射率 |
中文摘要 | 太阳能选择性吸收薄膜是中高温太阳能集热器的最关键部分,目前世界很多国家都在积极研究工艺简单、成本低廉、性能优良稳定的中高温光谱选择性吸收薄膜。本论文根据金属陶瓷型太阳能光谱选择性吸收表面和磁控溅射技术的原理,在国内外研究发展的基础上,针对目前国内平板型太阳能集热器的现有状况,结合太阳能热水器建筑一体化的发展趋势,开展了磁控溅射制备光谱选择性吸收薄膜的研究。本工作以直流反应磁控溅射方法作为制备手段,选择Ni-Cr合金作为靶材,以N2, 02两种气体为反应气体,反应溅射制备折射率变化的NiCr-NiCrO,N |
语种 | 中文 |
学科主题 | 热能工程 |
公开日期 | 2010-07-28 ; 2010-10-15 |
页码 | 共73页 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/1767] ![]() |
专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪保卫. Ni-Cr系光谱选择性吸收薄膜制备与表征[D]. 2002. |
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