多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计

	多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计
	赵可为 2; 谭艾英1 ; 尹韶云1 ; 蔡文涛 1; 杨若夫1 ; 陈建军1 ; 佟首峰 2
刊名	激光与光电子学进展
	2018
卷号	055 期号:006 页码:061203
ISSN号	1006-4125
英文摘要	提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法，该方法利用紫外增强PIN光电二极管，同时快速测量曝光机照面多点的光强，通过在传统电流一电压放大电路的基础上进行改进，同时使用复合放大的方法，大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性，使每一测量单点测量重复性控制在0．02mW／cm^2。利用紫外增强PIN光电二极管光刻机光源进行实验，结果表明，多点测量一致性小于0．1mW／cm^2，且检测的照度均匀性符合要求。
语种	英语
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/9260]
专题	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
作者单位	1.中国科学院重庆绿色智能技术研究院 2.长春理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	赵可为,谭艾英,尹韶云,等. 多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计[J]. 激光与光电子学进展,2018,055(006):061203.
APA	赵可为.,谭艾英.,尹韶云.,蔡文涛.,杨若夫.,...&佟首峰.(2018).多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计.激光与光电子学进展,055(006),061203.
MLA	赵可为,et al."多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计".激光与光电子学进展 055.006(2018):061203.