垂直共振腔面射型雷射二極體及其製造方法 | |
洪瑞華; 武東星 | |
2004-08-01 | |
著作权人 | 國立中興大學 |
专利号 | TW200414642A |
国家 | 中国台湾 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 垂直共振腔面射型雷射二極體及其製造方法 |
英文摘要 | 本發明提出一種垂直共振腔面射型雷射二極體及其製造方法,主要係先形成n型及p型歐姆接觸電極,再形成上介電材質之布拉格反射層,而後將晶圓貼至一暫時基板,並移除磊晶用之基板,再鍍上下介電材質之布拉格反射層,與電鍍用之金屬層,最後電鍍一永久基板。藉由本發明之方法可使布拉格反射層(DBR)保持高鏡面反射率,又可於室溫製作具散熱功能之金屬基板,甚至經適當設計可製作成無須切割之金屬基板,具高功率雷射之應用潛力,製程簡單而成本較低。 |
公开日期 | 2004-08-01 |
申请日期 | 2003-01-23 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/82304] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 國立中興大學 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 洪瑞華,武東星. 垂直共振腔面射型雷射二極體及其製造方法. TW200414642A. 2004-08-01. |
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