垂直共振腔面射型雷射二極體及其製造方法
洪瑞華; 武東星
2004-08-01
著作权人國立中興大學
专利号TW200414642A
国家中国台湾
文献子类发明申请
其他题名垂直共振腔面射型雷射二極體及其製造方法
英文摘要本發明提出一種垂直共振腔面射型雷射二極體及其製造方法,主要係先形成n型及p型歐姆接觸電極,再形成上介電材質之布拉格反射層,而後將晶圓貼至一暫時基板,並移除磊晶用之基板,再鍍上下介電材質之布拉格反射層,與電鍍用之金屬層,最後電鍍一永久基板。藉由本發明之方法可使布拉格反射層(DBR)保持高鏡面反射率,又可於室溫製作具散熱功能之金屬基板,甚至經適當設計可製作成無須切割之金屬基板,具高功率雷射之應用潛力,製程簡單而成本較低。
公开日期2004-08-01
申请日期2003-01-23
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/82304]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位國立中興大學
推荐引用方式
GB/T 7714
洪瑞華,武東星. 垂直共振腔面射型雷射二極體及其製造方法. TW200414642A. 2004-08-01.
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