半導体レーザ素子およびその製造方法
佐々木 康真; 大久保 典雄
1999-05-11
著作权人古河電気工業株式会社
专利号JP1999126942A
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ素子およびその製造方法
英文摘要【課題】 光出力発振時における端面劣化が抑制され、信頼性の高い半導体レーザ素子とその製造方法を提供する。 【解決手段】 半導体基板の上に半導体のエピタキシャル成長層を積層して成り、劈開面3a,3bを発光端面とし、かつその劈開面が半導体のエピタキシャル成長膜6a,6bで被覆されているレーザ素子本体4の上面および下面に駆動電極5a,5bが装荷されている半導体レーザ素子において、少なくとも上面に装荷されている駆動電極5aがタングステンシリサイドから成り、前記エピタキシャル成長層6a,6bは550℃以上の温度で形成される。
公开日期1999-05-11
申请日期1997-10-22
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/81775]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位古河電気工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
佐々木 康真,大久保 典雄. 半導体レーザ素子およびその製造方法. JP1999126942A. 1999-05-11.
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