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	全光纤斐索干涉共焦测量装置
	蔡海文; 陈高庭; 方祖捷
	2007-08-08
著作权人	中国科学院上海光学精密机械研究所
专利号	CN101013024A
国家	中国
文献子类	发明申请
其他题名	全光纤斐索干涉共焦测量装置
英文摘要	一种用于微纳器件的表面形貌和层面厚度进行高精度测量的全光纤斐索干涉共焦测量装置，构成为：第一半导体激光器和第二半导体激光器的输出端分别和光纤合波器的第一端口、第二端口相连，该光纤合波器的第三端口和光纤导光元件的第一端口相连，该光纤导光元件的第三端口和探头光纤相连，该探头光纤上靠近输出端面写有第一光纤光栅，所述的第一光纤光栅的衍射光经自聚焦透镜照射在处于三维扫描平台上的待测样品上，所述的光纤导光元件的第二端口和光纤分束器的第一端口相连，该光纤分束器的第三端口和第四端口分别和第三光纤光栅及第二光纤光栅相连，第二光纤光栅的输出端和第一光电探测器相连，第三光纤光栅的输出端和第二光电探测器相连。
公开日期	2007-08-08
申请日期	2007-02-13
状态	失效
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/79947]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	蔡海文,陈高庭,方祖捷. 全光纤斐索干涉共焦测量装置. CN101013024A. 2007-08-08.

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