レーザ加工装置 | |
相澤 賢 | |
2016-12-08 | |
著作权人 | 住友重機械工業株式会社 |
专利号 | JP2016207758A |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | レーザ加工装置 |
英文摘要 | 【課題】レーザダイオードの駆動条件を短時間で決定することが可能なレーザ加工装置を提供する。 【解決手段】伝搬光学系が、レーザダイオードからステージに保持された加工対象物にパルスレーザビームを導く。制御装置が、加工対象物に入射させるパルスレーザビームのパルス幅、パルスの繰り返し周波数、及びパルスエネルギ密度を規定する加工レシピと、レーザダイオードの駆動条件との関係を定義する関係定義データを記憶している。制御装置は、入力装置を通して加工レシピが入力されると、入力された加工レシピと、関係定義データとに基づいて、レーザダイオードの駆動条件を決定し、決定された駆動条件でレーザダイオードを駆動する。 【選択図】図1 |
公开日期 | 2016-12-08 |
申请日期 | 2015-04-20 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/70226] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 住友重機械工業株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 相澤 賢. レーザ加工装置. JP2016207758A. 2016-12-08. |
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