レーザ加工装置
相澤 賢
2016-12-08
著作权人住友重機械工業株式会社
专利号JP2016207758A
国家日本
文献子类发明申请
其他题名レーザ加工装置
英文摘要【課題】レーザダイオードの駆動条件を短時間で決定することが可能なレーザ加工装置を提供する。 【解決手段】伝搬光学系が、レーザダイオードからステージに保持された加工対象物にパルスレーザビームを導く。制御装置が、加工対象物に入射させるパルスレーザビームのパルス幅、パルスの繰り返し周波数、及びパルスエネルギ密度を規定する加工レシピと、レーザダイオードの駆動条件との関係を定義する関係定義データを記憶している。制御装置は、入力装置を通して加工レシピが入力されると、入力された加工レシピと、関係定義データとに基づいて、レーザダイオードの駆動条件を決定し、決定された駆動条件でレーザダイオードを駆動する。 【選択図】図1
公开日期2016-12-08
申请日期2015-04-20
状态申请中
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/70226]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位住友重機械工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
相澤 賢. レーザ加工装置. JP2016207758A. 2016-12-08.
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