| 纳米位移测量传感器 | |
| 蒋敏兰; 李付鹏; 陆鑫潮 | |
| 2012-05-09 | |
| 著作权人 | 浙江师范大学 |
| 专利号 | CN102445152A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 纳米位移测量传感器 |
| 英文摘要 | 本发明涉及纳米计量技术领域，具体涉及一种传感装置。纳米位移测量传感器，包括激光器、光学棱镜、光栅、光电探测器、信号处理电路、微型处理器系统，光学棱镜包括反射镜、第一直角棱镜、第二直角棱镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、非偏振分光棱镜、第一偏振分光棱镜、第二偏振分光棱镜。光电探测器包括第一光电探测器、第二光电探测器。本发明基于衍射光栅，半导体激光光源的微型纳米测量系统，利用上述元件构建一纳米测量光路，该纳米测量光路将环境光源的影响降至最低，通过提高了光栅偏摆的公差，抑制光栅运动直线度误差的影响，实现紧凑小巧的光路结构，缩短测量光路的光程，提高系统的抗环境干扰的能力。 |
| 公开日期 | 2012-05-09 |
| 申请日期 | 2011-09-16 |
| 状态 | 失效 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66984]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 浙江师范大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蒋敏兰,李付鹏,陆鑫潮. 纳米位移测量传感器. CN102445152A. 2012-05-09. |
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