| 获得激光二极管的方法 | |
| G·罗杰罗; G·米奈格海尼; G·莫瑞罗; A·斯塔诺; M·罗索 | |
| 2017-11-21 | |
| 著作权人 | 普里马电子股份公司 |
| 专利号 | CN107370018A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 获得激光二极管的方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种获得激光二极管的方法。该方法包括以下步骤：提供(100)包括光学层(4、6、8)的衬底(2)；执行(102)所述衬底(2)的第一干蚀刻，以获得具有预定深度的两个相对的横向面(10)，所述横向面(10)表示腔体(12)的侧壁；清洁(104)所述腔体(12)的底部；在整个衬底(2)上沉积(106)涂层(52)；执行(108)第二蚀刻，以使所述腔体(12)的底部没有所述涂层(52)；执行(110)所述腔体(12)的底部的第三深蚀刻；去除(112)所述涂层(52)，以获得所述激光二极管(1)，其中所述横向面是二极管(1)的横向镜子(10)。 |
| 公开日期 | 2017-11-21 |
| 申请日期 | 2017-05-11 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66884]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 普里马电子股份公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | G·罗杰罗,G·米奈格海尼,G·莫瑞罗,等. 获得激光二极管的方法. CN107370018A. 2017-11-21. |
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