| 一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构 | |
| 吴根柱; 齐鸣; 张永刚; 李爱珍 | |
| 2003-03-05 | |
| 著作权人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 专利号 | CN1400698A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种实现半导体激光器后腔面高反射涂层的膜系结构，目的是提高激光器输出功率，减小阈值电流，改善激光器各方面性能。其特征在于本发明采用既廉价又容易蒸发的金属银(Ag)做为高反射镀膜材料，以其它折射率接近8的氧化物介质膜，如ZrO2、SiO、Al2O3中一种作为垫底和保护膜，在激光器后腔面用电子束蒸镀方法实现了高反射涂层。经不同激光器上实施后表明，该涂层能使激光器功率提高60％，减小阈值电流20－50％，并且有良好的化学稳定性、热稳定性和牢固性，能有效保护半导体激光器后腔面。与现有的半导体激光器腔面镀膜技术相比，本发明具有膜系结构简单，实施容易，成本低，更适合于生产领域等优点。 |
| 公开日期 | 2003-03-05 |
| 申请日期 | 2002-08-23 |
| 状态 | 失效 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66635]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴根柱,齐鸣,张永刚,等. 一种用于半导体激光器腔面反射涂层的结构. CN1400698A. 2003-03-05. |
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