| 图案形成方法、液滴喷出装置及电路组件 | |
| 三浦弘纲 | |
| 2007-10-31 | |
| 著作权人 | 精工爱普生株式会社 |
| 专利号 | CN101062625A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 图案形成方法、液滴喷出装置及电路组件 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种图案形成方法、液滴喷出装置及电路组件。其中搭载于滑架(20)的反射镜(27)反射半导体激光器(LD)射出的激光，作为沿近似扫描方向的第一照射光(Le1)，照射液状膜(FL)的第一照射位置(P1)。而且，搭载于滑架(20)的凹面镜(29)反射来自第一照射位置(P1)的反射散射光(Lr)，作为沿近似扫描方向的第二照射光(Le2)再次照射液状膜(FL)的第二照射位置(P2)。因此，可以提高液滴的干燥效率，可以降低由液滴构成的图案的形成不良。 |
| 公开日期 | 2007-10-31 |
| 申请日期 | 2007-04-26 |
| 状态 | 失效 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65670]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 精工爱普生株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 三浦弘纲. 图案形成方法、液滴喷出装置及电路组件. CN101062625A. 2007-10-31. |
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