金屬氧化物半導體薄膜、結構及方法
陸永瑞; 李泰錫; 亨利W. 懷特
2007-03-16
著作权人莫克斯托尼克斯股份有限公司
专利号TW200711058A
国家中国台湾
文献子类发明申请
其他题名金屬氧化物半導體薄膜、結構及方法
英文摘要用於提昇半導體裝置性能的材料與結構包括ZnBeO合金材料、ZnCdOSe合金材料、含有鎂以利晶格匹配之ZnBeO合金材料、以及BeO材料。在ZnBeO合金系統(亦即Zu1-xBexO)中,可改變Be的原子比例x來增加氧化鋅的能帶間隙値,以使其高於氧化鋅的能帶間隙値;而在ZnCdOSe合金系統(亦即Zn1-yCdyO1-zSez)中,可改變Cd的原子比例y與Se的原子比例z來降低氧化鋅的能帶間隙値,以使其低於氧化鋅的能帶間隙値。利用所選擇之摻質元素,所形成的每一種合金可為未經摻雜、p型摻雜、或n型摻雜;這些合金可以單獨或以組合方式加以使用,以形成可發射一定範圍波長値的主動光子層、如單一與多重量子井之異質結構、以及超晶格層或覆層,並可用以製造光學或電子半導體裝置。這些就可用於提昇半導體裝置的功能、容量與性能。
公开日期2007-03-16
申请日期2006-03-30
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64719]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位莫克斯托尼克斯股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
陸永瑞,李泰錫,亨利W. 懷特. 金屬氧化物半導體薄膜、結構及方法. TW200711058A. 2007-03-16.
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