一种半导体激光器无损波长分类筛选方法
徐现刚; 蒋锴; 李沛旭
2015-12-30
著作权人山东华光光电子股份有限公司
专利号CN105203305A
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种半导体激光器无损波长分类筛选方法
英文摘要一种半导体激光器无损波长分类筛选方法,通过电致发光初检及工艺片整片扫描光荧光谱复检的方法,可有效筛选不同波长范围的半导体激光器外延片,适用范围广。本发明可在前道工艺完成整片激光工艺片波长筛选分类,定位精准,数据全面,速度快,大大提高后道工艺工作效率。同时本发明避免了对激光器工艺片的结构破坏,提高了外延片利用率,节约大量成本。
公开日期2015-12-30
申请日期2015-11-03
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63660]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位山东华光光电子股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
徐现刚,蒋锴,李沛旭. 一种半导体激光器无损波长分类筛选方法. CN105203305A. 2015-12-30.
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