一种半导体激光器无损波长分类筛选方法 | |
徐现刚; 蒋锴; 李沛旭 | |
2015-12-30 | |
著作权人 | 山东华光光电子股份有限公司 |
专利号 | CN105203305A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 一种半导体激光器无损波长分类筛选方法 |
英文摘要 | 一种半导体激光器无损波长分类筛选方法,通过电致发光初检及工艺片整片扫描光荧光谱复检的方法,可有效筛选不同波长范围的半导体激光器外延片,适用范围广。本发明可在前道工艺完成整片激光工艺片波长筛选分类,定位精准,数据全面,速度快,大大提高后道工艺工作效率。同时本发明避免了对激光器工艺片的结构破坏,提高了外延片利用率,节约大量成本。 |
公开日期 | 2015-12-30 |
申请日期 | 2015-11-03 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63660] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 山东华光光电子股份有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐现刚,蒋锴,李沛旭. 一种半导体激光器无损波长分类筛选方法. CN105203305A. 2015-12-30. |
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