| 基于超精密回转扫描的大口径非球面测量装置与方法 | |
| 谭久彬; 郎治国; 刘俭 | |
| 2009-03-04 | |
| 著作权人 | 哈尔滨工业大学 |
| 专利号 | CN101377410A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 基于超精密回转扫描的大口径非球面测量装置与方法 |
| 英文摘要 | 基于超精密回转扫描的大口径非球面测量装置与方法属于宏观轮廓测量技术，该装置包括超精密气浮转台、精密转角及测角系统，超精密直线气浮导轨、测长装置和倾斜度测量系统；倾斜度测量系统包括线偏振He－Ne激光器或半导体激光器、衍射元件、扫描头和图像接收单元；线偏振He－Ne激光器或半导体激光器与图像接收单元分别固定于基座横梁的两侧，扫描头固定于超精密直线气浮导轨上；所述扫描头中包括径向倾斜度测量子扫描头和切向倾斜度测量子扫描头，且均包含误差补偿光路，两个子扫描头所在工作平面正交；本发明还公开了一种基于超精密回转扫描的大口径非球面测量方法。 |
| 公开日期 | 2009-03-04 |
| 申请日期 | 2008-10-10 |
| 状态 | 失效 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63655]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 哈尔滨工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭久彬,郎治国,刘俭. 基于超精密回转扫描的大口径非球面测量装置与方法. CN101377410A. 2009-03-04. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论