尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法 | |
袁宁一; 房香; 丁建宁; 陈梦蛟; 邱建华 | |
2013-09-04 | |
著作权人 | 常州大学 |
专利号 | CN103280498A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法 |
英文摘要 | 本发明涉及一种异质结紫外激光二极管制备技术,特指结合镀膜技术和飞秒激光技术,制备尖锥形p-NiO/n-ZnO异质结。本发明先利用热氧化在镍片上形成NiO层,然后利用原子层沉积方法制备ZnO层,再在n-型ZnO层外利用溅射方法形成氧化铟锡(ITO)透明上电极,最后利用飞秒激光加工技术在覆盖有NiO/ZnO/ITO层的镍片上形成尖锥形阵列,即形成尖锥形p-NiO/n-ZnO异质结,在镍片底部和ITO上加上电压,即可实现电致发光。 |
公开日期 | 2013-09-04 |
申请日期 | 2013-04-22 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63410] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 常州大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁宁一,房香,丁建宁,等. 尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法. CN103280498A. 2013-09-04. |
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