一种微激光二极管阵列的制备方法
徐春祥; 朱刚毅; 戴俊; 石增良; 林毅; 理记涛; 田正山
2012-07-04
著作权人东南大学
专利号CN102545060A
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种微激光二极管阵列的制备方法
英文摘要一种微激光二极管阵列的制备方法,首先在P型氮化镓(GaN)薄膜表面旋涂一层p型聚合物半导体薄膜(如聚乙烯基咔唑(PVK)、聚芴(PF)、聚对苯乙烯撑(PPV)、聚-3烷基噻吩(P3HT)及其衍生物等p型聚合物半导体),然后将单根氧化锌(ZnO)微米棒集成在p型聚合物薄膜表面形成异质结,将透明导电薄膜(如:氧化铟锡(ITO)、氧化锌铝(ZAO)等)镀在透明玻璃上,然后再在透明导电玻璃的一端镀一层金(Au)电极,然后将其扣在表面集成有ZnO微米棒上面,然后在透明导电玻璃和p-GaN之间注入环氧乙酯。最后在p-GaN表面制备具有欧姆接触的电极,构成完整的器件。
公开日期2012-07-04
申请日期2012-01-17
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63377]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位东南大学
推荐引用方式
GB/T 7714
徐春祥,朱刚毅,戴俊,等. 一种微激光二极管阵列的制备方法. CN102545060A. 2012-07-04.
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