激光曝光装置
本山肇
2004-03-10
著作权人佳能株式会社
专利号CN1480799A
国家中国
文献子类发明申请
其他题名激光曝光装置
英文摘要一种激光曝光装置,包括:发射第1激光束的第1激光源;发射比第1激光束的波长短的第2激光束的第2激光源;以及将第1激光束和第2激光束引导到感光体的光学装置;从第2激光束到达所述感光体的光路长度比从第1激光束到达所述感光体的光路长度要长。
公开日期2004-03-10
申请日期2003-07-28
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/60990]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位佳能株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
本山肇. 激光曝光装置. CN1480799A. 2004-03-10.
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