激光曝光装置 | |
本山肇 | |
2004-03-10 | |
著作权人 | 佳能株式会社 |
专利号 | CN1480799A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 激光曝光装置 |
英文摘要 | 一种激光曝光装置,包括:发射第1激光束的第1激光源;发射比第1激光束的波长短的第2激光束的第2激光源;以及将第1激光束和第2激光束引导到感光体的光学装置;从第2激光束到达所述感光体的光路长度比从第1激光束到达所述感光体的光路长度要长。 |
公开日期 | 2004-03-10 |
申请日期 | 2003-07-28 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/60990] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 佳能株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 本山肇. 激光曝光装置. CN1480799A. 2004-03-10. |
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