レーザ装置、露光ヘッド、及び露光装置 | |
岡崎 洋二; 石川 弘美; 永野 和彦; 藤井 武; 山川 博充 | |
2004-01-08 | |
著作权人 | 富士写真フイルム株式会社 |
专利号 | JP2004006440A |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | レーザ装置、露光ヘッド、及び露光装置 |
英文摘要 | 【課題】高輝度レーザ光源を提供する。また、深い焦点深度を得ることができる露光ヘッド及び露光装置を提供する。 【解決手段】バンドル状ファイバ光源66の光ファイバを、コア径が均一で出射端のクラッド径が入射端のクラッド径より小さい光ファイバとして、その発光領域を小さくする。この高輝度化されたバンドル状ファイバ光源66から、レンズ系77を通過してDMD50へ入射する光束の角度が小さくなり、走査面56へ入射する光束の角度が小さくなる。即ち、焦点深度が深くなる。 【選択図】図15 |
公开日期 | 2004-01-08 |
申请日期 | 2002-05-23 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/60831] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 富士写真フイルム株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 岡崎 洋二,石川 弘美,永野 和彦,等. レーザ装置、露光ヘッド、及び露光装置. JP2004006440A. 2004-01-08. |
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