ホログラム素子およびその製造方法、並びにそのホログラム素子を用いた半導体レーザ装置
増井 克栄
2001-09-26
著作权人SHARP CORP
专利号JP2001264541A
国家日本
文献子类发明申请
其他题名ホログラム素子およびその製造方法、並びにそのホログラム素子を用いた半導体レーザ装置
英文摘要【課題】 回折格子またはホログラムの溝の断面形状を理想的な形状からずらすことなく、表面での光反射を低減させるコーティング膜を設ける。 【解決手段】 透明基板7上にコーティング膜20を形成した後で、エッチングまたは2P法により溝203を形成する。溝203の側面202や角部201に不要なコーティング膜20が形成されないため、散乱光が生じて光の利用効率が低下したり、半導体レーザ装置において信号対雑音比が低下することはない。
公开日期2001-09-26
申请日期2000-03-21
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/60387]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SHARP CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
増井 克栄. ホログラム素子およびその製造方法、並びにそのホログラム素子を用いた半導体レーザ装置. JP2001264541A. 2001-09-26.
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