模具之加工方法與製造方法
宇佐美由久
2009-11-16
著作权人富士軟片股份有限公司
专利号TW200946319A
国家中国台湾
文献子类发明申请
其他题名模具之加工方法與製造方法
英文摘要一種模具之加工方法,其是用以在形成於模具(1)上的凹狀產品形成面(11)上形成凹部圖案(13)的模具(1)之加工方法,其特徵在於包括以下步驟:光阻形成步驟,於產品形成面(11)上形成可進行熱模式的形狀變化之光阻層(12);雷射光照射步驟,藉由利用內置有半導體雷射的曝光裝置對光阻層(12)照射雷射光而形成凹部圖案(13);以及凹凸形成步驟,藉由利用凹部圖案(13)而於產品形成面(11)上形成凹凸。
公开日期2009-11-16
申请日期2009-03-09
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/58403]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位富士軟片股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
宇佐美由久. 模具之加工方法與製造方法. TW200946319A. 2009-11-16.
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