模具之加工方法與製造方法 | |
宇佐美由久 | |
2009-11-16 | |
著作权人 | 富士軟片股份有限公司 |
专利号 | TW200946319A |
国家 | 中国台湾 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 模具之加工方法與製造方法 |
英文摘要 | 一種模具之加工方法,其是用以在形成於模具(1)上的凹狀產品形成面(11)上形成凹部圖案(13)的模具(1)之加工方法,其特徵在於包括以下步驟:光阻形成步驟,於產品形成面(11)上形成可進行熱模式的形狀變化之光阻層(12);雷射光照射步驟,藉由利用內置有半導體雷射的曝光裝置對光阻層(12)照射雷射光而形成凹部圖案(13);以及凹凸形成步驟,藉由利用凹部圖案(13)而於產品形成面(11)上形成凹凸。 |
公开日期 | 2009-11-16 |
申请日期 | 2009-03-09 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/58403] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 富士軟片股份有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 宇佐美由久. 模具之加工方法與製造方法. TW200946319A. 2009-11-16. |
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