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	一种模块化的真空紫外激光装置
	段绍峰; 杨媛媛; 唐天威; 周超成; 张文涛
	2019-05-31
著作权人	上海交通大学
专利号	CN109830884A
国家	中国
文献子类	发明申请
其他题名	一种模块化的真空紫外激光装置
英文摘要	本发明公开了一种模块化的真空紫外激光装置，涉及真空紫外激光领域，包括激光器、倍频单元、第一反射单元、准直单元、第二反射单元、聚焦单元、超真空波纹管、外部调节操作机构；所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均设置为独立的模块化单元，所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均固定设置在独立的所述外部调节操作机构上，所述超真空波纹管将所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元依次连接，形成光的传输通道。本发明的真空紫外激光装置，具有设计简洁、可扩展性强、操作方便、成本低的优点。
公开日期	2019-05-31
申请日期	2019-03-28
状态	申请中
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57982]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	上海交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	段绍峰,杨媛媛,唐天威,等. 一种模块化的真空紫外激光装置. CN109830884A. 2019-05-31.

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