一种半导体激光芯片的测试设备及方法 | |
万怡富 | |
2019-10-15 | |
著作权人 | 江西德瑞光电技术有限责任公司 |
专利号 | CN110333051A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 一种半导体激光芯片的测试设备及方法 |
英文摘要 | 本发明提供一种半导体激光芯片的测试设备及方法,该设备包括:机架;设于机架上的摆动测试机构,摆动测试机构包括与机架摆动连接的第一支架、与第一支架摆动连接的第二支架、驱动第一支架相对机架摆动的第一驱动器、以及驱动第二支架相对第一支架摆动的第二驱动器;芯片装载平台,设置在第二支架上,其上设有芯片装载位;光束测试机构,设置在机架上并位于摆动测试机构的一侧,用于在摆动测试机构驱动待测芯片摆动时,对待测芯片发出的光束进行光电转换测试,并得出芯片的测试数据。本发明中采用逐角度扫描法来测试光束发散角,且设计了可驱动芯片朝多个方向摆动的机构,实现对芯片多个方向的光束发射角进行测试,提高测试效率及数据的全面性。 |
公开日期 | 2019-10-15 |
申请日期 | 2019-09-03 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57270] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 江西德瑞光电技术有限责任公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 万怡富. 一种半导体激光芯片的测试设备及方法. CN110333051A. 2019-10-15. |
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