一种半导体激光芯片的测试设备及方法
万怡富
2019-10-15
著作权人江西德瑞光电技术有限责任公司
专利号CN110333051A
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种半导体激光芯片的测试设备及方法
英文摘要本发明提供一种半导体激光芯片的测试设备及方法,该设备包括:机架;设于机架上的摆动测试机构,摆动测试机构包括与机架摆动连接的第一支架、与第一支架摆动连接的第二支架、驱动第一支架相对机架摆动的第一驱动器、以及驱动第二支架相对第一支架摆动的第二驱动器;芯片装载平台,设置在第二支架上,其上设有芯片装载位;光束测试机构,设置在机架上并位于摆动测试机构的一侧,用于在摆动测试机构驱动待测芯片摆动时,对待测芯片发出的光束进行光电转换测试,并得出芯片的测试数据。本发明中采用逐角度扫描法来测试光束发散角,且设计了可驱动芯片朝多个方向摆动的机构,实现对芯片多个方向的光束发射角进行测试,提高测试效率及数据的全面性。
公开日期2019-10-15
申请日期2019-09-03
状态申请中
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57270]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位江西德瑞光电技术有限责任公司
推荐引用方式
GB/T 7714
万怡富. 一种半导体激光芯片的测试设备及方法. CN110333051A. 2019-10-15.
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