| 集成超表面于VCSEL的轨道角动量发射器件及其制备方法 | |
| 喻颖; 孙雅琪; 刘顺发; 余思远 | |
| 2018-10-02 | |
| 著作权人 | 中山大学 |
| 专利号 | CN108616033A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 集成超表面于VCSEL的轨道角动量发射器件及其制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种集成超表面于VCSEL的轨道角动量发射器件，包括垂直腔表面发射激光器、二氧化硅钝化层、SU8平整化层、N面电极、P面环形电极和非晶硅超表面层；其中所述垂直腔表面发射激光器包括GaAs衬底、下分布布拉格反射镜结构、三量子阱有源层、上分布布拉格反射镜结构，其中下分布布拉格反射镜结构设置在GaAs衬底上，三量子阱有源层设置在下分布布拉格反射镜结构上，上分布布拉格反射镜结构设置在三量子阱有源层上；二氧化硅钝化层对上分布布拉格反射镜结构、三量子阱有源层的端面进行包覆，下分布布拉格反射镜结构的顶面上设置有SU8平整化层，SU8平整化层对二氧化硅钝化层的外表面进行包覆；N面电极开设在GaAs衬底上；P面环形电极设置在SU8平整化层上；非晶硅超表面层设置在上分布布拉格反射镜结构上。 |
| 公开日期 | 2018-10-02 |
| 申请日期 | 2018-05-10 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57028]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中山大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 喻颖,孙雅琪,刘顺发,等. 集成超表面于VCSEL的轨道角动量发射器件及其制备方法. CN108616033A. 2018-10-02. |
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