| 匀光装置及其制备方法 | |
| 尹磊; 刘红忠; 陈邦道; 史永胜 | |
| 2017-09-22 | |
| 著作权人 | 常州瑞丰特科技有限公司 |
| 专利号 | CN107195764A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 匀光装置及其制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种匀光装置及其制备方法，该匀光装置包括：第一电极板、第二电极板、第三电极板、第四电极板、基底和液态透镜，基底上设置有第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板，第一电极板和第二电极板组成第一组平行板电容器，第三电极板和第四电极板组成第二组平行板电容器，液态透镜的底部被镶嵌在基底上且液态透镜位于第一组平行板电容器和第二组平行板电容器之间。制备方法：基底上光刻胶图形化；溅射ZnO层；水浴生长ZnO纳米结构；氟表面处理；残余光刻胶去除；传感器封装。本发明能够将不均匀的光强分布利用液态透镜振动的方式转化为均匀的光强分布，具有可调节性强、可持续利用等优点。 |
| 公开日期 | 2017-09-22 |
| 申请日期 | 2017-06-27 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56114]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 常州瑞丰特科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹磊,刘红忠,陈邦道,等. 匀光装置及其制备方法. CN107195764A. 2017-09-22. |
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