垂直腔面发射激光器及其功率调节方法

	垂直腔面发射激光器及其功率调节方法
	郭海侠; 张鹏; 向宇
	2019-09-06
著作权人	苏州长瑞光电有限公司
专利号	CN110212407A
国家	中国
文献子类	发明申请
其他题名	垂直腔面发射激光器及其功率调节方法
英文摘要	本发明公开了一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)。所述垂直腔面发射激光器包括作为光出射端面的上端面分布式布拉格反射镜，在所述上端面分布式布拉格反射镜上表面设置有由自下而上的下Al2O3层、SiNx层、上Al2O3层所组成的复合膜结构，所述下Al2O3层的物理厚度不大于5nm，SiNx层的光学厚度为1/4λ，上Al2O3层的物理厚度不小于10nm。本发明还公开了上述垂直腔面发射激光器的功率调节方法。相比现有技术，本发明可在优化非气密封装VCSEL的可靠性及寿命同时，还可以较低的工艺难度和成本实现VCSEL发射功率的大范围调节。
公开日期	2019-09-06
申请日期	2019-07-08
状态	申请中
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55515]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	苏州长瑞光电有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	郭海侠,张鹏,向宇. 垂直腔面发射激光器及其功率调节方法. CN110212407A. 2019-09-06.