基于SOI上硅基微结构的太赫兹调制器及系统和方法 | |
文岐业; 张豪; 申朝阳; 何雨莲; 杨青慧; 谭为; 冯正; 张怀武 | |
2019-08-06 | |
著作权人 | 电子科技大学 |
专利号 | CN110095888A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 基于SOI上硅基微结构的太赫兹调制器及系统和方法 |
英文摘要 | 本发明提供一种基于SOI上硅基微结构的太赫兹调制器及其制备方法和调制系统,太赫兹调制器从下至上依次包括:底层的Al2O3衬底、SiO2隔离层、硅基微结构、Al2O3钝化层,硅基微结构在SiO2隔离层上周期性排列,每个硅基微结构包括两层正方形Si基台阶结构,调制系统包括:半导体激光器、激光调制器、太赫兹调制器、太赫兹辐射源、太赫兹探测器,本发明对于0.4THz~0.85THz的太赫兹波具有22%以下的反射率,在0.82THz处达到最低18%,可显著降低调制器件对太赫兹波的反射率,提高太赫兹波的利用率;在功率为1200mw的808nm激光照射下达到64.5%的调制深度;太赫兹成像扩散区域相较于传统硅基太赫兹调制器,有效提高成像系统中的分辨率达到29%以上。 |
公开日期 | 2019-08-06 |
申请日期 | 2019-05-07 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55423] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 电子科技大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 文岐业,张豪,申朝阳,等. 基于SOI上硅基微结构的太赫兹调制器及系统和方法. CN110095888A. 2019-08-06. |
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