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	一种提高石英光热光谱气体浓度检测灵敏度的装置及方法
	马欲飞; 佟瑶; 何应; 乔顺达; 彭江波; 于欣
	2019-06-28
著作权人	哈尔滨工业大学
专利号	CN109946266A
国家	中国
文献子类	发明申请
其他题名	一种提高石英光热光谱气体浓度检测灵敏度的装置及方法
英文摘要	本申请实施例涉及一种提高石英光热光谱气体浓度检测灵敏度的装置及方法，所述装置包括：沿光束传播方向依次设置的激光器控制模块(1)、半导体激光器(2)、准直透镜(3)、气体吸收池(4)、石英音叉(5)、控制与数据采集系统(6)以及计算机(7)；所述准直透镜的焦距应小于10mm；所述石英音叉为具有压电特性的材料制成，表明镀有银层，其共振频率为20kHz‑70kHz，所述石英音叉品质因子大于等于10000；所述石英音叉根部具有第一尺寸的宽度方向和第二尺寸的厚度方向；所述石英音叉根部宽度方向靠近边缘的位置开有一窗口，所述窗口为去除所述银层的窗口，用于供探测激光射入。本申请检测装置具有结构简单、灵敏度高、成本低等优点。
公开日期	2019-06-28
申请日期	2019-03-18
状态	申请中
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55344]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	哈尔滨工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	马欲飞,佟瑶,何应,等. 一种提高石英光热光谱气体浓度检测灵敏度的装置及方法. CN109946266A. 2019-06-28.

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