| 基于VCSEL的轨道角动量复用器件及其制备方法 | |
| 余思远; 孙雅琪; 朱国轩; 喻颖; 刘洁 | |
| 2019-06-07 | |
| 著作权人 | 中山大学 |
| 专利号 | CN109861077A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 基于VCSEL的轨道角动量复用器件及其制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及光电元件及器件技术领域，提出一种基于VCSEL的轨道角动量复用器件，包括垂直腔表面发射激光器、氮化硅相位层、金属遮挡层、P面电极和N面电极；其中垂直腔表面发射激光器上以中心点为圆心由内向外依次刻蚀有圆柱、第一外环和第二外环结构；氮化硅相位层设置在圆柱结构的上表面，占圆柱上表面的二分之一面积；金属遮挡层设置在第一外环的上表面和第二外环的上表面并刻蚀为金属光栅结构；P面电极和N面电极设置在垂直腔表面发射激光器上。本发明还提出所述复用器件的制备方法，且所述复用器件能够实现同轴独立调制高纯度的1、2、3阶OAM光束，实现OAM光束的同轴集成，且该复用器件的制作成本低廉，制备工艺简单。 |
| 公开日期 | 2019-06-07 |
| 申请日期 | 2019-01-28 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55282]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中山大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 余思远,孙雅琪,朱国轩,等. 基于VCSEL的轨道角动量复用器件及其制备方法. CN109861077A. 2019-06-07. |
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