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	HCG反射镜层、垂直腔面发射激光器以及二者的制备方法
	韩宇; 陈志标
	2019-03-08
著作权人	武汉云岭光电有限公司
专利号	CN109449753A
国家	中国
文献子类	发明申请
其他题名	HCG反射镜层、垂直腔面发射激光器以及二者的制备方法
英文摘要	本发明涉及半导体激光器领域，提供了一种HCG反射镜层。还提供一种垂直腔面发射激光器。还提供一种HCG反射镜层的制备方法。还提供一种垂直腔面发射激光器的制备方法。本发明的一种HCG反射镜层、垂直腔面发射激光器以及二者的制备方法，通过使用制备的HCG反射镜层来替代现有技术中的两个DBR反射层，由于该HCG反射镜层包含有具有高对比度的空气悬浮光栅结构，一方面，可以解决VCSEL外延结构复杂且难以实现规模化的缺陷，极大地减少了制作成本，另一方面HCG反射镜层有着反射带宽更宽和偏振保持性更好的优点，并可以通过制备HCG反射镜层时调整制备的参数来达到调节输出光偏振特性的目的；进而使得所制备的VCSEL激光器具有极高反射率和结构简单的特点。
公开日期	2019-03-08
申请日期	2018-11-15
状态	申请中
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55050]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	武汉云岭光电有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	韩宇,陈志标. HCG反射镜层、垂直腔面发射激光器以及二者的制备方法. CN109449753A. 2019-03-08.

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