一种激光二极管芯片光电属性检测方法和检测装置 | |
朱干军; 张家尧 | |
2019-01-29 | |
著作权人 | 义乌臻格科技有限公司 |
专利号 | CN109283452A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 一种激光二极管芯片光电属性检测方法和检测装置 |
英文摘要 | 本发明公开了一种激光二极管芯片光电属性检测方法和检测装置,所述激光二极管芯片具有脊顶面电极和电极垫,本检测方法使用具有弹性的条带探针代替针型探针并且探针接触的位置由电极垫改为脊顶面电极,其中,所述条带探针自身弯曲成弧形,以与激光二极管脊顶面电极的延伸方向正交的方式,水平下降至与脊顶面电极的金电极图层接触的位置,由条带探针的弯曲形变提供接触压力。本发明以条带型的探针去替代传统的探针,去提供激光二极管光电属性检测过程所需要的电流(电压),由于下针方式和接触面积的改变,对检测设备的位置精准度降低了要求,保护了激光二极管上的电极垫,延长了探针的使用寿命。从设备、耗材、以及制程工艺上降低了成本。 |
公开日期 | 2019-01-29 |
申请日期 | 2018-10-19 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/54972] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 义乌臻格科技有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱干军,张家尧. 一种激光二极管芯片光电属性检测方法和检测装置. CN109283452A. 2019-01-29. |
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