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	PROCEDE DE REALISATION DE COMPOSANT COMPRENANT DES MATERIAUX III-V ET DES CONTACTS COMPATIBLES DE FILIERE SILICIUM
	GHEGIN ELODIE; JANY CHRISTOPHE; NEMOUCHI FABRICE; RODRIGUEZ PHILIPPE; SZELAG BERTRAND
	2018-06-29
著作权人	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
专利号	FR3061354A1
国家	法国
文献子类	发明申请
其他题名	PROCEDE DE REALISATION DE COMPOSANT COMPRENANT DES MATERIAUX III-V ET DES CONTACTS COMPATIBLES DE FILIERE SILICIUM
英文摘要	L'invention concerne un procédé de réalisation d'un composant comprenant une structure en matériau(x) III-V à la surface d'un substrat, ladite structure comprenant au moins un niveau supérieur de contact (Nsup) défini à la surface d'un premier matériau III-V (1) et un niveau inférieur de contact (Ninf) défini à la surface d'un second matériau III-V (2), comportant : - des opérations successives d'encapsulation par au moins un diélectrique (8) de ladite structure ; - la réalisation d'ouvertures primaires (Osp ;Oip) dans un diélectrique pour les deux contacts ; - la réalisation d'ouvertures secondaires (Oss ;Ois) dans un diélectrique pour les deux contacts ; - le remplissage au moins partiel par au moins une matière métallique desdites ouvertures de manière à réaliser une métallisation de fond de contact supérieur et au moins un plot de contact supérieur en contact avec ladite métallisation pour chacun desdits contacts. L'invention a aussi pour objet un composant réalisé par ledit procédé. Le composant peut être une diode laser.
公开日期	2018-06-29
申请日期	2016-12-22
状态	申请中
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/54752]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
推荐引用方式 GB/T 7714	GHEGIN ELODIE,JANY CHRISTOPHE,NEMOUCHI FABRICE,et al. PROCEDE DE REALISATION DE COMPOSANT COMPRENANT DES MATERIAUX III-V ET DES CONTACTS COMPATIBLES DE FILIERE SILICIUM. FR3061354A1. 2018-06-29.

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