马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪 | |
徐荣伟; 刘立人; 栾竹; 刘宏展 | |
2006-08-16 | |
著作权人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
专利号 | CN1270159C |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪 |
英文摘要 | 一种马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪,其构成是:第一分束平板、第二分束平板、第一反射平板和第二反射平板互相平行设置成Mach-Zehnder型结构;在第一分束平板和第一反射平板之间设置有分离式楔板,该楔板的楔角为α,光束在楔板上入射角为θ;第二分束平板和第二反射平板之间设置有楔板,该楔板的楔角为α,光束在楔板上入射角为θ;所述的分离式楔板与楔板的楔角呈正交放置,其中分离式楔板的楔板部分b沿平板部分a移动,改变光程差,产生相移,在所述的第二分束平板后设置CCD相机,该CCD相机的输出端与所述的干涉条纹处理系统的输入端相连。本发明结构简单,成本较低,测量精度高,适合于相干长度短的半导体激光器光源的波面测量。 |
公开日期 | 2006-08-16 |
申请日期 | 2005-02-23 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49928] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐荣伟,刘立人,栾竹,等. 马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪. CN1270159C. 2006-08-16. |
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