马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪
徐荣伟; 刘立人; 栾竹; 刘宏展
2006-08-16
著作权人中国科学院上海光学精密机械研究所
专利号CN1270159C
国家中国
文献子类授权发明
其他题名马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪
英文摘要一种马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪,其构成是:第一分束平板、第二分束平板、第一反射平板和第二反射平板互相平行设置成Mach-Zehnder型结构;在第一分束平板和第一反射平板之间设置有分离式楔板,该楔板的楔角为α,光束在楔板上入射角为θ;第二分束平板和第二反射平板之间设置有楔板,该楔板的楔角为α,光束在楔板上入射角为θ;所述的分离式楔板与楔板的楔角呈正交放置,其中分离式楔板的楔板部分b沿平板部分a移动,改变光程差,产生相移,在所述的第二分束平板后设置CCD相机,该CCD相机的输出端与所述的干涉条纹处理系统的输入端相连。本发明结构简单,成本较低,测量精度高,适合于相干长度短的半导体激光器光源的波面测量。
公开日期2006-08-16
申请日期2005-02-23
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49928]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
徐荣伟,刘立人,栾竹,等. 马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪. CN1270159C. 2006-08-16.
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