一种集成生长与测量的分子束外延生长系统 | |
徐永兵; 黄大威; 吴竞; 何亮; 刘文卿; 陆显扬; 张晓倩 | |
2017-10-20 | |
著作权人 | 南京大学 |
专利号 | CN206573468U |
国家 | 中国 |
文献子类 | 实用新型 |
其他题名 | 一种集成生长与测量的分子束外延生长系统 |
英文摘要 | 集成生长与测量的分子束外延生长系统,包括分子束外延生长腔室、样品操纵杆、可倾斜的样品台、入射光、反射光、一对电磁铁、偏振片、检偏器、激光二极管、光电探测器、分子束外延的生长源;分子束外延生长腔室上设有一对视窗,这对视窗是分子束外延生长系统上激光入射光和出射光的高透明、对光低散射的视窗;原位磁光表征系统安装在分子束外延生长系统的腔室上;原位磁光表征系统包含产生S型线偏振光的激光二极管、调节线偏振光的起偏偏振片;所述起偏偏振片产生激光入射光射至样品表面,所述检偏器对出射光检偏;原位磁光表征系统包含光电探测器,探测器将出射光的信号输入到锁相放大器;样品台侧设有电磁铁。样品操纵杆与可倾斜的样品台固定。 |
公开日期 | 2017-10-20 |
申请日期 | 2017-01-04 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49698] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 南京大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐永兵,黄大威,吴竞,等. 一种集成生长与测量的分子束外延生长系统. CN206573468U. 2017-10-20. |
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