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	一种集成生长与测量的分子束外延生长系统
	徐永兵; 黄大威; 吴竞; 何亮; 刘文卿; 陆显扬; 张晓倩
	2017-10-20
著作权人	南京大学
专利号	CN206573468U
国家	中国
文献子类	实用新型
其他题名	一种集成生长与测量的分子束外延生长系统
英文摘要	集成生长与测量的分子束外延生长系统，包括分子束外延生长腔室、样品操纵杆、可倾斜的样品台、入射光、反射光、一对电磁铁、偏振片、检偏器、激光二极管、光电探测器、分子束外延的生长源；分子束外延生长腔室上设有一对视窗，这对视窗是分子束外延生长系统上激光入射光和出射光的高透明、对光低散射的视窗；原位磁光表征系统安装在分子束外延生长系统的腔室上；原位磁光表征系统包含产生S型线偏振光的激光二极管、调节线偏振光的起偏偏振片；所述起偏偏振片产生激光入射光射至样品表面，所述检偏器对出射光检偏；原位磁光表征系统包含光电探测器，探测器将出射光的信号输入到锁相放大器；样品台侧设有电磁铁。样品操纵杆与可倾斜的样品台固定。
公开日期	2017-10-20
申请日期	2017-01-04
状态	授权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49698]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	南京大学
推荐引用方式 GB/T 7714	徐永兵,黄大威,吴竞,等. 一种集成生长与测量的分子束外延生长系统. CN206573468U. 2017-10-20.

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