光电子半导体芯片及其制造方法
W.施密德; P.孙德格伦
2019-03-08
著作权人奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司
专利号CN106415855B
国家中国
文献子类授权发明
其他题名光电子半导体芯片及其制造方法
英文摘要半导体芯片(1)包括具有n导通的层序列(21)以及p导通的层序列(23)和位于其间的用于产生电磁辐射的有源区(22)的半导体层序列(2)。此外,在半导体层序列(2)中,蚀刻标志层(24)位于p导通的层序列(23)中或上。此外,半导体层序列(3)上的蚀刻结构(3)位于蚀刻标志层(24)的背向有源区(22)的侧上。蚀刻结构(3)伸展至少直至蚀刻标志层(24)中。蚀刻标志层(24)具有标志成分,该标志成分在朝向蚀刻结构(3)的方向上与蚀刻标志层(24)相邻的层(25)中不存在或减少。
公开日期2019-03-08
申请日期2015-05-20
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49369]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司
推荐引用方式
GB/T 7714
W.施密德,P.孙德格伦. 光电子半导体芯片及其制造方法. CN106415855B. 2019-03-08.
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