少模面发射激光器 | |
刘建国; 于丽娟; 苏亚嫚; 祝宁华 | |
2018-12-07 | |
著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
专利号 | CN105428999B |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 少模面发射激光器 |
英文摘要 | 本发明公开了少模面发射激光器结构,其中包括:一衬底,该衬底用于在其上生长激光器各外延层材料;一n型分布布拉格反射器(DBR),该n型DBR制作在衬底上;一n型限制层,该n型限制层制作在n型DBR上;一有源层,该有源层制作在n型限制层上;一p型限制层,该p型限制层制作在有源区上;一p型DBR,该p型DBR制作在p型限制层上;一离子注入区,该离子注入区注入在p型DBR以及p型限制层特定的区域中,并与有源区保持一定的距离,对注入载流子进行限制作用;一p面电极,该p面电极制作在p型DBR上,包含三个透明电极,不同电极用来调制不同的横模模式;一n面电极,该n面电极制作在衬底的下面。 |
公开日期 | 2018-12-07 |
申请日期 | 2015-12-29 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49334] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘建国,于丽娟,苏亚嫚,等. 少模面发射激光器. CN105428999B. 2018-12-07. |
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