生成超材料的方法及由此生成的超材料
熊启华; 徐新龙; 张俊
2017-03-22
著作权人南洋理工大学
专利号CN103649718B
国家中国
文献子类授权发明
其他题名生成超材料的方法及由此生成的超材料
英文摘要提供了一种生成在可见光‑红外范围内可操作的超材料的方法。所述方法包括a)将导电材料层沉积在基板上;b)在所述导电材料层上形成电子束光刻胶层;c)使用电子束光刻将所述电子束光刻胶层图案化以形成有图案的基板;d)将贵金属层沉积在所述有图案的基板上;和e)除去所述光刻胶。提供了一种在所述可见光‑红外范围内可操作的超材料,所述超材料在基板上包含具有约20nm至约40nm的最小线宽的裂环谐振器。还提供了一种用于化学或生物传感的透明光子器件或传感器,所述透明光子器件或传感器包含所述超材料。
公开日期2017-03-22
申请日期2012-06-06
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49216]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位南洋理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
熊启华,徐新龙,张俊. 生成超材料的方法及由此生成的超材料. CN103649718B. 2017-03-22.
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