生成超材料的方法及由此生成的超材料 | |
熊启华; 徐新龙; 张俊 | |
2017-03-22 | |
著作权人 | 南洋理工大学 |
专利号 | CN103649718B |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 生成超材料的方法及由此生成的超材料 |
英文摘要 | 提供了一种生成在可见光‑红外范围内可操作的超材料的方法。所述方法包括a)将导电材料层沉积在基板上;b)在所述导电材料层上形成电子束光刻胶层;c)使用电子束光刻将所述电子束光刻胶层图案化以形成有图案的基板;d)将贵金属层沉积在所述有图案的基板上;和e)除去所述光刻胶。提供了一种在所述可见光‑红外范围内可操作的超材料,所述超材料在基板上包含具有约20nm至约40nm的最小线宽的裂环谐振器。还提供了一种用于化学或生物传感的透明光子器件或传感器,所述透明光子器件或传感器包含所述超材料。 |
公开日期 | 2017-03-22 |
申请日期 | 2012-06-06 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49216] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 南洋理工大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊启华,徐新龙,张俊. 生成超材料的方法及由此生成的超材料. CN103649718B. 2017-03-22. |
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