具有氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜激光二极管的制造方法
钱时昌
2015-06-10
著作权人溧阳华晶电子材料有限公司
专利号CN103166114B
国家中国
文献子类授权发明
其他题名具有氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜激光二极管的制造方法
英文摘要本发明公开了一种采用氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的激光二极管,该激光二极管的结构为:n型氧化镍薄膜,其形成在蓝宝石衬底的上表面上;氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜,其形成在所述n型氧化镍薄膜的上表面上,以及底电极,其形成在所述n型氧化镍薄膜下表面上,顶电极,其形成在所述氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的上表面上。
公开日期2015-06-10
申请日期2013-03-01
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48742]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位溧阳华晶电子材料有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
钱时昌. 具有氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜激光二极管的制造方法. CN103166114B. 2015-06-10.
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