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	半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置
	刘云; 王立军; 李再金; 姚迪
	2009-01-14
著作权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
专利号	CN100452578C
国家	中国
文献子类	授权发明
其他题名	半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置
英文摘要	本发明属于半导体光电子学技术领域，涉及一种半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置，包括底座，支架，滑块，升降调节杆，微调旋钮，第一橡胶板，第二橡胶板，第三橡胶板，鱼夹；通过调节微调旋钮可以使滑块相对于升降调节杆上下滑动，带动第三橡胶板上以相同高度水平排列安装的鱼夹上下移动，从而使夹紧在鱼夹上的微通道热沉浸入腐蚀液适当深度，提高了微通道热沉的腐蚀质量和成品率；并且在相同的时间内可以一次性完成多个微通道热沉的清洗，提高了多个微通道热沉腐蚀效果的一致性和清洗效率。本发明结构简单、制作成本低，适用于高功率半导体激光线阵、迭阵微通道热沉及其他热沉的化学清洗。
公开日期	2009-01-14
申请日期	2007-06-20
状态	失效
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48478]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	刘云,王立军,李再金,等. 半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置. CN100452578C. 2009-01-14.

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