半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置 | |
刘云; 王立军; 李再金; 姚迪 | |
2009-01-14 | |
著作权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
专利号 | CN100452578C |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置 |
英文摘要 | 本发明属于半导体光电子学技术领域,涉及一种半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置,包括底座,支架,滑块,升降调节杆,微调旋钮,第一橡胶板,第二橡胶板,第三橡胶板,鱼夹;通过调节微调旋钮可以使滑块相对于升降调节杆上下滑动,带动第三橡胶板上以相同高度水平排列安装的鱼夹上下移动,从而使夹紧在鱼夹上的微通道热沉浸入腐蚀液适当深度,提高了微通道热沉的腐蚀质量和成品率;并且在相同的时间内可以一次性完成多个微通道热沉的清洗,提高了多个微通道热沉腐蚀效果的一致性和清洗效率。本发明结构简单、制作成本低,适用于高功率半导体激光线阵、迭阵微通道热沉及其他热沉的化学清洗。 |
公开日期 | 2009-01-14 |
申请日期 | 2007-06-20 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48478] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘云,王立军,李再金,等. 半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置. CN100452578C. 2009-01-14. |
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