生长在铝酸镁钪衬底上的GaN薄膜 | |
李国强; 王文樑; 朱运农; 杨为家 | |
2017-06-06 | |
著作权人 | 华南理工大学 |
专利号 | CN206225325U |
国家 | 中国 |
文献子类 | 实用新型 |
其他题名 | 生长在铝酸镁钪衬底上的GaN薄膜 |
英文摘要 | 本实用新型公开了生长在铝酸镁钪衬底上的GaN薄膜,包括依次生长在ScMgAlO4衬底上的GaN缓冲层,GaN形核层,GaN非晶层以及GaN薄膜。所述ScMgAlO4衬底以(0001)面偏(11‑20)面0.5~1°为外延面。与现有技术相比,本实用新型具有制备成本低廉的优点,GaN薄膜具有晶体质量好、缺陷密度低等特点。 |
公开日期 | 2017-06-06 |
申请日期 | 2016-08-29 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48277] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 华南理工大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李国强,王文樑,朱运农,等. 生长在铝酸镁钪衬底上的GaN薄膜. CN206225325U. 2017-06-06. |
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