一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源
郑婉华; 王海玲; 冯朋; 张斯日古楞; 王宇飞; 刘安金
2017-10-03
著作权人中国科学院半导体研究所
专利号CN104092096B
国家中国
文献子类授权发明
其他题名一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源
英文摘要本发明公开了一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源,该激光光源包括叠层设置的锥形(Taper)增益结构和SOI脊型波导结构,其中该锥形增益结构通过回流焊技术倒装贴合于该SOI脊型波导结构之上。本发明通过在周期性微槽混合激光器中引入III‑V族Taper结构并生长光学下限制层,提高了有源区限制因子,从而增加了III‑V族中的模式增益;同时Taper结构的引入保证了III‑V族结构与硅波导的高效耦合,实现单纵模激光从硅波导输出。本发明制作成本较低,可用于硅基光互连,光通信中的激光光源,提高了III‑V族光源与硅波导的耦合效率,实现了高效耦合的单模混合硅基半导体激光光源。
公开日期2017-10-03
申请日期2014-06-27
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46931]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
郑婉华,王海玲,冯朋,等. 一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源. CN104092096B. 2017-10-03.
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