一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源 | |
郑婉华; 王海玲; 冯朋; 张斯日古楞; 王宇飞; 刘安金 | |
2017-10-03 | |
著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
专利号 | CN104092096B |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源 |
英文摘要 | 本发明公开了一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源,该激光光源包括叠层设置的锥形(Taper)增益结构和SOI脊型波导结构,其中该锥形增益结构通过回流焊技术倒装贴合于该SOI脊型波导结构之上。本发明通过在周期性微槽混合激光器中引入III‑V族Taper结构并生长光学下限制层,提高了有源区限制因子,从而增加了III‑V族中的模式增益;同时Taper结构的引入保证了III‑V族结构与硅波导的高效耦合,实现单纵模激光从硅波导输出。本发明制作成本较低,可用于硅基光互连,光通信中的激光光源,提高了III‑V族光源与硅波导的耦合效率,实现了高效耦合的单模混合硅基半导体激光光源。 |
公开日期 | 2017-10-03 |
申请日期 | 2014-06-27 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46931] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑婉华,王海玲,冯朋,等. 一种硅波导输出的单模硅基混合激光光源. CN104092096B. 2017-10-03. |
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