基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置
房丰洲; 朱朋哲; 万宇
2014-04-02
著作权人天津大学
专利号CN203518952U
国家中国
文献子类实用新型
其他题名基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置
英文摘要本实用新型属于多轴系统检测领域,为提供一种可实现高精度、低成本,能综合测量多轴系统几何误差的测量装置,实现多轴系统几何误差的综合测量,为此,本实用新型采用的技术方案是,基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置,包括:半导体激光器、准直缩束系统、四象限光电二极管QPD、成像透镜、1/4波片、光学自由曲面标准件、偏振分光棱镜PBS、图像探测器CCD;半导体激光器的激光经准直缩束系统、偏振分光棱镜PBS、1/4波片投射到光学自由曲面标准件上,光学自由曲面标准件反射出的反射光经1/4波片、偏振分光棱镜PBS反射再由成像透镜汇聚到四象限光电二极管QPD上。本实用新型主要应用于多轴系统检测。
公开日期2014-04-02
申请日期2013-08-13
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46492]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位天津大学
推荐引用方式
GB/T 7714
房丰洲,朱朋哲,万宇. 基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置. CN203518952U. 2014-04-02.
个性服务
查看访问统计
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。


©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by CSpace