基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置 | |
房丰洲; 朱朋哲; 万宇 | |
2014-04-02 | |
著作权人 | 天津大学 |
专利号 | CN203518952U |
国家 | 中国 |
文献子类 | 实用新型 |
其他题名 | 基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置 |
英文摘要 | 本实用新型属于多轴系统检测领域,为提供一种可实现高精度、低成本,能综合测量多轴系统几何误差的测量装置,实现多轴系统几何误差的综合测量,为此,本实用新型采用的技术方案是,基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置,包括:半导体激光器、准直缩束系统、四象限光电二极管QPD、成像透镜、1/4波片、光学自由曲面标准件、偏振分光棱镜PBS、图像探测器CCD;半导体激光器的激光经准直缩束系统、偏振分光棱镜PBS、1/4波片投射到光学自由曲面标准件上,光学自由曲面标准件反射出的反射光经1/4波片、偏振分光棱镜PBS反射再由成像透镜汇聚到四象限光电二极管QPD上。本实用新型主要应用于多轴系统检测。 |
公开日期 | 2014-04-02 |
申请日期 | 2013-08-13 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46492] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 天津大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 房丰洲,朱朋哲,万宇. 基于光学自由曲面的多轴系统误差建模及测量装置. CN203518952U. 2014-04-02. |
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