| 一种小尺寸半导体激光器 | |
| 刘欢; 沈燕; 徐现刚; 王英 | |
| 2014-03-19 | |
| 著作权人 | 山东华光光电子有限公司 |
| 专利号 | CN203491505U |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 其他题名 | 一种小尺寸半导体激光器 |
| 英文摘要 | 本实用新型提供一种小尺寸半导体激光器，所述半导体激光器的周期尺寸≤150μm。所述半导体激光器是纯条结构或带肩结构。一种上述小尺寸半导体激光器的制备方法，包括步骤如下：在半导体激光器芯片上制备欧姆接触层，经光刻、刻蚀制备周期尺寸≤150μm的管芯图形；对所述制备完欧姆接触层芯片的P面进行保护；对芯片的衬底进行减薄；将半导体激光器芯片清洗后放入蒸发台：蒸镀P面电极，P电极蒸镀完毕后翻架蒸镀N面电极。本实用新型将图形周期由200μm缩减为150μm，产出约为原来的3倍。 |
| 公开日期 | 2014-03-19 |
| 申请日期 | 2013-09-22 |
| 状态 | 失效 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46444]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 山东华光光电子有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘欢,沈燕,徐现刚,等. 一种小尺寸半导体激光器. CN203491505U. 2014-03-19. |
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