空间曲线型长距离微细管道内表面形貌测量检测方法
李江雄; 柯映林; 吴恩启
2009-06-17
著作权人浙江大学
专利号CN100501220C
国家中国
文献子类授权发明
其他题名空间曲线型长距离微细管道内表面形貌测量检测方法
英文摘要本发明公开了一种空间曲线型长距离微细管道内表面形貌测量检测方法。该管道内表面形貌测量仪主要由二维位置传感器、半导体激光器、透明窗、微型马达、扫描镜、反射镜、会聚透镜、接收透镜组等部分组成。从激光器出射的光束经过两次反射后在管道内壁上形成一个细小光斑,该光斑被二维位置传感器接收。根据二维位置传感器产生的电流信号以及测量仪的结构参数,计算出该光斑点在局部三维坐标系中的位置。微型马达带动扫描镜旋转一周,得到管道内壁一个截面上所有采样点的位置。该测量仪适用于内径为Φ9~Φ11mm,曲率半径大于100mm的曲线型微细管道内壁的缺陷检测和三维测量,测量精度可以达到±0.1mm。
公开日期2009-06-17
申请日期2005-05-18
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45101]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位浙江大学
推荐引用方式
GB/T 7714
李江雄,柯映林,吴恩启. 空间曲线型长距离微细管道内表面形貌测量检测方法. CN100501220C. 2009-06-17.
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