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	Tantalum-aluminum oxide coatings for semiconductor devices
	CHAKRABARTI, UTPAL KUMAR; WU, PING; GRODKIEWICZ, WILLIAM HENRY
著作权人	AGERE SYSTEMS OPTOELECTRONICS GUARDIAN CORPORATION
专利号	EP0845839A1
国家	欧洲专利局
文献子类	发明申请
其他题名	Tantalum-aluminum oxide coatings for semiconductor devices
英文摘要	An active semiconductor device (10) includes a coating (14) comprising an oxide of tantalum and aluminum. The coating may function as an AR coating or as a passivation coating for a semiconductor laser device. Applications to ICs and optical devices are described.
公开日期	1998-06-03
申请日期	1997-11-25
状态	失效
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43878]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	AGERE SYSTEMS OPTOELECTRONICS GUARDIAN CORPORATION
推荐引用方式 GB/T 7714	CHAKRABARTI, UTPAL KUMAR,WU, PING,GRODKIEWICZ, WILLIAM HENRY. Tantalum-aluminum oxide coatings for semiconductor devices. EP0845839A1.

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