| 一种垂直腔面发射激光器的湿法氧化工艺及装置 | |
| 罗玉辉; 程元红; 邝智豪; 黄逸生 | |
| 著作权人 | 深亮智能技术(中山)有限公司 |
| 专利号 | CN109193340A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种垂直腔面发射激光器的湿法氧化工艺及装置 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器的湿法氧化工艺及装置，将垂直腔面发射激光器放置加热炉中，启动加热炉加热至反应温度，然后按反应比例向点火装置通入氢气和氧气并点火燃烧，燃烧生成的水蒸汽通入加热炉，所述水蒸汽和垂直腔面发射激光器的外延片中暴露的高铝组分化合物发生反应，形成氧化物限制结构，即氧化铝绝缘层。本发明提供的方法以氢气和氧气燃烧产生水蒸汽通入放置有VCSEL激光器的加热炉中，实现高含铝层中铝的氧化。 |
| 公开日期 | 2019-01-11 |
| 申请日期 | 2018-08-22 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43357]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 深亮智能技术(中山)有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗玉辉,程元红,邝智豪,等. 一种垂直腔面发射激光器的湿法氧化工艺及装置. CN109193340A. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论