电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数 | |
杨立才; 张玉林; 陈振生 | |
刊名 | 微细加工技术
![]() |
1996 | |
期号 | 1页码:7-16 |
关键词 | 电子光学 像差 电子束曝光 电子显微镜 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6804134 |
专题 | 山东大学 |
作者单位 | 山东工业大学自动化系 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨立才,张玉林,陈振生. 电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数[J]. 微细加工技术,1996(1):7-16. |
APA | 杨立才,张玉林,&陈振生.(1996).电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数.微细加工技术(1),7-16. |
MLA | 杨立才,et al."电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数".微细加工技术 .1(1996):7-16. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论