| 电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数 | |
| 杨立才; 张玉林; 陈振生 | |
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 1996 | |
| 期号 | 1页码:7-16 |
| 关键词 | 电子光学 像差 电子束曝光 电子显微镜 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6804134 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 山东工业大学自动化系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨立才,张玉林,陈振生. 电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数[J]. 微细加工技术,1996(1):7-16. |
| APA | 杨立才,张玉林,&陈振生.(1996).电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数.微细加工技术(1),7-16. |
| MLA | 杨立才,et al."电磁复合场三级几何像差方程的修正与像差系数".微细加工技术 .1(1996):7-16. |
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