| 低能电子束曝光中的MONTE CARLO方法及沉积能分布 | |
| 谭震宇; 何延才 | |
| 刊名 | 计算物理
 |
| 1997 | |
| 期号 | 1页码:118-120 |
| 关键词 | 低能电子散射 MONTECARLO方法 电子束曝光 能量沉积 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6800280 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 1.山东工业大学电力学院 2.中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭震宇,何延才. 低能电子束曝光中的MONTE CARLO方法及沉积能分布[J]. 计算物理,1997(1):118-120. |
| APA | 谭震宇,&何延才.(1997).低能电子束曝光中的MONTE CARLO方法及沉积能分布.计算物理(1),118-120. |
| MLA | 谭震宇,et al."低能电子束曝光中的MONTE CARLO方法及沉积能分布".计算物理 .1(1997):118-120. |
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