不同有机衬底上沉积的ZnO:Al透明导电膜的研究 | |
陈源[1]; 张德恒[1]; 马瑾[2]; 杨田林[3] | |
刊名 | 半导体杂志
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1999 | |
期号 | 03 |
关键词 | 磁控溅射 有机衬底 透明导电膜 AZO |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6794356 |
专题 | 山东大学 |
作者单位 | 1.山东大学物理系,中国. 2.山东大学光电材料与器件研究所,中国. 3.淄博学院基础部,中国 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈源[1],张德恒[1],马瑾[2],等. 不同有机衬底上沉积的ZnO:Al透明导电膜的研究[J]. 半导体杂志,1999(03). |
APA | 陈源[1],张德恒[1],马瑾[2],&杨田林[3].(1999).不同有机衬底上沉积的ZnO:Al透明导电膜的研究.半导体杂志(03). |
MLA | 陈源[1],et al."不同有机衬底上沉积的ZnO:Al透明导电膜的研究".半导体杂志 .03(1999). |
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