| Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律 | |
| 任黎明,陈宝钦,谭震宇 | |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 2002 | |
| 期号 | 03页码:512-518 |
| 关键词 | 电子束曝光 MonteCarlo方法 低能电子散射 能量沉积 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6778020 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子中心,中国科学院微电子中心,山东大学电气工程学院 北京100029,北京100029,济南250061 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 任黎明,陈宝钦,谭震宇. Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律[J]. 物理学报,2002(03):512-518. |
| APA | 任黎明,陈宝钦,谭震宇.(2002).Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律.物理学报(03),512-518. |
| MLA | 任黎明,陈宝钦,谭震宇."Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律".物理学报 .03(2002):512-518. |
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